حساسات الضغط ميكروماشيند السيليكونية

تصنف حساسات الضغط ميكروماشيند ((Micromachined السيليكونية من الحساسات التي تعمل وفق تقنية الدارات المتكاملة و التي تعالج تقنيا من اجل الحصول بالنهاية على عنصر تحسس (غشاء) مرقق يوضع على شريحة من السيليكون . تصنع معايير الإجهاد عن طريق نشر مقاومات من السيليكون على الغشاء و ذلك من اجل تحويل الضغط المطبق على الغشاء ( انحراف الغشاء ) إلى تغير في المقاومة الكهربائية . هنالك عدة مزايا فريدة يقدمها السيليكون , يعتبر السيليكون من المواد الميكانيكية المثالية و التي لا تظهر أي نوع من التخلفية أو التباطؤ ( hysteresis) و صفته المطاطية تفوق حد الكسر , كما يعتبر أقوى من المعدن . يستخدم السيليكون بشكل واسع في صناعة الدارات المتكاملة وذلك بسبب الموثوقية في الصناعة التقنية بالإضافة إلى الدقة العالية في التحكم التقني و الذي تطور بشكل جيد . إن رقاقة السيليكون النموذجية تنتج المئات من شرائح حساسات الضغط المتماثلة و بتكلفة ضئيلة جدا .